1、光化學臭氧產生
Lenard于1900年首次報道了由暴露于140-190 nm紫外光的氧氣形成臭氧的情況，并于1903年由Goldstein對其進行了充分評估。很快就認識到，工業生產的有效波長低于200 nm。鑒于使用基于汞的紫外線發射燈的當前技術，254nm波長與185nm波長一起傳輸，并且臭氧的光解與它的產生同時進行。此外，與185 nm波長相比，在254 nm處的相對發射強度高5至10倍。
用汞燈達到臭氧形成的合適的光致靜止狀態的嘗試失敗了。造成這種故障的主要原因是，熱分解會隨著臭氧的形成而發生。除了小規模使用或產生協同作用外，UV-臭氧過程（臭氧的UV-光化學生成）尚未達到成熟。需要進一步開發的重要階段包括開發新的燈泡技術，該技術在波長小于200 nm時具有較少的老化和較高的發射強度。
2、電解臭氧的產生
電解產生臭氧具有歷史重要性，因為1840年Schönbein首次通過硫酸電解發現了合成臭氧。設備的簡單性可使該過程對小規模用戶或偏遠地區的用戶有吸引力。
電解產生具有許多潛在的優勢，包括使用低壓直流電流，無需進料氣制備，減小設備尺寸，在高濃度下可能產生臭氧以及在水中產生，從而消除了臭氧與水的接觸流程。該方法的問題和缺點包括：
電極的腐蝕和腐蝕，陽極過電壓和高電流密度導致的熱過載，需要特殊的電解質或低電導率的水，并且在現場生成過程中，在電極上形成結垢和沉積物，并產生了當所用的水或電解質中存在氯離子時，游離氯是該過程所固有的。
3、放射化學臭氧的產生
放射性射線對氧氣的高能輻射可促進臭氧的形成。即使該方法具有良好的熱力學產率，并且有趣地使用了廢物裂變同位素，但由于其復雜的工藝要求，化學核臭氧產生工藝尚未在水或廢水處理中成為重要的應用。
